Fazer pó de silício de metal é bastante simples. Você simplesmente coloca uma certa quantidade de pó de silício grosso em um arco de plasma com um gás inerte e aquece a uma temperatura alta, fazendo com que o pó de silício se transforme em vapor de silício. Este vapor é então resfriado e convertido em pó de silício metálico de nível nano.
Método de deposição de vapor químico: O silano se divide em silício e hidrogênio quando há muito hidrogênio e calor ou luz é usada. Ele rapidamente se transforma em um gás do qual é obtido pó de nanossilício.
Método de moagem de bola: Materiais maiores de silício são moídos em pós de tamanho nano usando uma máquina que usa atrito e colisões entre partículas. O pó de metal de silício de moagem de bola tem um alto teor de impureza, a distribuição do tamanho das partículas não pode ser bem controlada e o processamento subsequente é relativamente complicado.