Fazer pó de silício metálico é bastante simples. Basta colocar uma certa quantidade de pó de silício grosso em um arco de plasma de gás inerte e aquecê-lo a uma alta temperatura, fazendo com que o pó de silício se transforme em vapor de silício. Este vapor é então resfriado e transformado em pó metálico de silício de nível nano.
Método de Deposição Química de Vapor: O silano é dividido em silício e hidrogênio quando o hidrogênio é abundante e calor ou luz são usados. Rapidamente se transforma em gás, do qual se obtém o pó de nanossilício.
Método de moagem de bolas: Materiais maiores de silício são moídos em pós de tamanho nanométrico por uma máquina usando fricção e colisões entre partículas. O pó de silício metálico produzido por moagem de esferas tem um alto teor de impurezas, a distribuição do tamanho das partículas não pode ser bem controlada e o processamento subsequente é relativamente complicado.